显微激光测振仪 LV-S01-M

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>激光光斑可大微米量级,方便测量MEMS器件的振动
>可实现显微放大,实时观察被测物体
>模块化设计,可选配多种解码器,适用范围广
 
产品介绍 
显微激光测振仪是一款全新的集多功能于一身的非接触式振动测量仪器,也是一款可视化显微测量分析的理想工具。它可以通过显微光学系统实现对微小物体的振动测量,可以精确测量MEMS等微小结构元器件的振动和形貌,激光光斑达微米量级,并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态(频率、速度、加速度、位移)等多维信息。



特点
1. 非接触测量,无负载;
2. 激光光斑极小,微米级;
3. 优越的带宽和动态范围;
4. 高空间分辨率;
5. 工作距离可选;
6. 高灵活性、易安装、易操作;
7. 振动传感器结构紧凑、性能稳定、抗外力冲击、测量精度高
8. 配有同轴照明装置和相机,可以方便迅速地确定测量位置。


扩展功能
1. 利用显微镜视频闪频技术测量物体面内振动特性(可定制)
2. 通过白光干涉测量物体形貌特性(可定制)


应用领域 
1 微机电系统(MEMS)动态测试
2 生命科学、医学、动物学研究,如昆虫等生物的活体的振动特性测量
3 计算机外设的动态测试:硬盘驱动器、光盘机、磁带机、头/盘接口等;
4 超声振动测量
5 压电陶瓷振动测量
6 弦线/丝线振动特性测量
7 微型陀螺仪振动测量



技术参数


 
显微激光测振仪 LV-S01-M
工作温度 3℃ - 45℃
工作湿度 <90%
电 源 220 - 240Vrms,50-60Hz   
激光波长 He-Ne Laser 632.8nm
激光安全等级 Class II
速度量程 10m/s
输出电压 ±10V
频率范围 DC~3MHz
滤波设置 高通低通滤波设置
最大线性误差 1%
机 架
(标准配置)
反射用机架,低手位粗微同轴调焦机构。
粗调行程25mm,微调精度0.001mm。
带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。
内置100-240V宽电压系统。
光学参数 检测器尺寸:1/2    测量距离:9mm(使用10X物镜时)
观测装置 CMOS数码相机: 320万像素(USB2.0) 
位移分辨率 优于15pm
速度解码器 VD-16数字速度解码器
位移解码器 DD-16数字位移解码器、DD-21数字位移解码器
 
﹡使用VD-16数字速度解码器
﹡﹡使用DD-16、DD-21数字位移解码器

 
VD-16数字速度解码器 Digital Velocity Decoders
档位
(mm/s/V)
最大速度
(m/s,peak
频率范围
(KHz)
0.001 0.00001 0-2
0.005 0.00005 0-10
0.01 0.0001 0-80
0.05 0.0005 0-80
0.1 0.001 0-80
0.5 0.005 0-320
1 0.01 0-320
2 0.02 0-320
5 0.05 0-320
10 0.1 0-320
20 0.2 0-1000
50 0.5 0-3000
100 1 0-3000
200 2 0-3000
500 5 0-3000
1000 10 0-3000
 
﹡ 输出电压范围±10V

DD-16数字位移解码器 Digital  Displacement  Decoders
档位 最大位移 频率范围
(μm/V) (μm,peak-peak (KHz)
0.05 1 0-3000
0.1 2 0-3000
0.2 4 0-3000
0.5 10 0-3000
1 20 0-3000
2 40 0-3000
5 100 0-3000
10 200 0-3000
20 400 0-3000
50 1000 0-3000
100 2000 0-3000
200 4000 0-3000
500 10000 0-3000
1000 20000 0-3000
2000 40000 0-3000
5000 100000 0-3000

﹡ 输出电压范围±10V

DD-21数字位移解码器 Digital  Displacement  Decoders
档位 最大位移 频率范围
(μm/V) (μm,peak-peak (KHz)
0.05 1 0-3000
0.1 2 0-3000
0.2 4 0-3000
0.5 10 0-3000
1 20 0-3000
2 40 0-3000
5 100 0-3000
10 200 0-3000
20 400 0-3000
50 1000 0-3000
100 2000 0-3000
200 4000 0-3000
500 10000 0-3000
1000 20000 0-3000
2000 40000 0-3000
5000 100000 0-3000
10000 200000 0-3000
20000 400000 0-3000
50000 1000000 0-3000
100000 2000000 0-3000
200000 4000000 0-3000

﹡ 输出电压范围±10V