激光位移传感器的原理:

　　基本原理是光学三角学：

　　透镜(2)将半导体激光器(2)聚焦在要测量的物体上。反射光被透镜收集并投射到CMOS阵列(4)上。信号处理器(5)通过三角函数计算数组(4)的位置来获取与物体的距离。

　　这是振友科技网站上的示意图

　　ZLDS10X激光位移传感器的精度高达0.5um

　　一种新的测量方法：结合光相干接收原理的非线性调频连续波调制和解调(FMCW)技术。

　　基于全球领先的基于硅的光电集成技术，相干相位检测器的光路和参考光路被集成在一个微型芯片中。由于使用了相干接收，因此在烟，光和灰尘等环境干扰的情况下，可以实现高精度的相位测量。使用非线性调制和解调技术，可以实现低成本和精确的光调制，并且通过与精确控制的参考波导光路进行比较，可以实现微米级的精确距离测量。