扫描电子显微镜(SEM)是一种能有效分析样品表面形貌和微观结构的电子光学仪器。目前已广泛应用于各种高科技研究中。通常的扫描电镜虽然具有纳米分辨率的成像能力，但由于不具备溯源测量仪器的功能，无法对被测样品进行***测量。因此，对扫描电镜进行适当的改装，采用新的扫描成像方法，使其具有可溯源的测量功能，而不仅仅是一种观察工具，将是未来提高扫描电镜性能的一个趋势。在这种趋势下，计量型扫描电子显微镜应运而生。溯源计量型扫描电镜(SEM)采用电子束扫描位置固定，移动工作台使电子束相对于样品以网格格式扫描成像，激光干涉仪向来回扫描样品的样品台作出测量反馈，可***测量纳米尺度，从而实现可溯源到国际单位米定义的扫描成像方式。由于承载被测样品的纳米微位移工作台在往复扫描过程中可能会因高速运动而产生一定的耦合振动，因此要获得***的尺寸测量，就必须有一个性能良好的纳米微位移工作台系统。因此，提高微位移平台和支撑机构的抗振能力对计量型扫描电镜系统的建设具有重要意义。针对计量扫描电镜系统中纳米微位移平台的支撑结构，主要完成了以下工作:考虑到计量扫描电镜的功能结构，我们对德国蔡司公司的扫描电镜(Merlin)支撑结构进行了结构改造。本研究利用ANSYS有限元软件对改造前后的支撑结构和柔性铰链纳米微位移平台进行了静力和模态分析，得到了系统的固有频率和振型，分析了其结构满足计量电子显微镜要求的基本条件。本研究还对改造后的微位移平台系统进行了实际振动测试和分析，通过输入变频正弦波控制信号，记录并分析了位移平台系统的共振频率。此外，对改进的纳米微位移平台支撑结构采用冲击激励的方法，利用激光测振仪接收信号，利用快速傅里叶变换将时域信号转换为频域信号，从而获得纳米支撑结构的共振频率信息。对蔡司梅林扫描电镜进行了改造，增加了带有双轴激光标尺的测量模块，构建了测量扫描电镜系统。通过微位移工作台的扫描成像效果，验证了纳米微位移工作台系统的隔振效果和抗自干扰能力。

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